俄歇電子能譜學(xué)AES分析原理
俄歇電子能譜學(xué)（ Auger electron spectroscopy ）， 簡稱AES
俄歇電子能譜基本原理： 入射電子束和物質(zhì)作用， 可以激發(fā)出原子的內(nèi)層電子。外層電子向內(nèi)層躍遷過程中所釋放的能量，可能以X光的形式放出，即產(chǎn)生特征X 射線，也可能又使核外另一電子激發(fā)成為自由電子，這種自由電子就是俄歇電子。對于一個原子來說,激發(fā)態(tài)原子在釋放能量時只能進(jìn)行一種發(fā)射：特征X 射線或俄歇電子。原子序數(shù)大的元素，特征X 射線的發(fā)射幾率較大， 原子序數(shù)小的元素， 俄歇電子發(fā)射幾率較大， 當(dāng)原子序數(shù)為33 時，兩種發(fā)射幾率大致相等。因此，俄歇電子能譜適用于輕元素的分析。
