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湖北/武漢市
實施Mini LED光電特性參數(shù)分析的最佳工具之一是數(shù)字源表(SMU)。數(shù)字源表作為獨立的恒壓源或恒流源,輸出恒壓或恒流、還可以當作表,進行電壓或者電流測量;支持Trig觸發(fā),可實現(xiàn)與光譜儀,探針臺,分選機等第三方設(shè)備聯(lián)動工作。
目前,光電性能檢測是通過Mini LED點測機實現(xiàn)的,用于測量晶圓上每一顆芯片。點測機的主要結(jié)構(gòu)單元包括探針臺,電性能測試單元,光性能測試單元,以及上位機控制系統(tǒng)等。該工序根據(jù)實際情況,位于晶圓劃片前,或者后工序。設(shè)備基本構(gòu)成主要包括探針臺,電子顯微鏡,SMU,ESD,工控機,積分球,光譜儀等。其中,SMU的作用是對芯片進行IV特性測試,同時在光學(xué)測試中,對芯片進行供電。
常用的電性能測試項目包括,VF1,VF2,IR,VZ,VFD,DVF等。
⑴ VF(正向電壓)測試, FIMV: 一般會測兩個點, 第一個點VF1為 LED剛點亮?xí)r電壓, 第二個點VF2為LED 正常工作時的電壓;
⑵ VZ(反向擊穿電壓)測試, FIMV:一定反向電流時,器件兩端的電壓;
⑶ IR(反向泄露電流)測試, FVMI: 一定反向電壓時, 流過器件的電流;
⑸ DVF 測試,材料熱縮效應(yīng)測試, FIMV: 對LED施加兩次不同的電流,并計算不同條件下的電壓差;
⑹ VFD 測試,正向電壓暫態(tài)峰值電壓測試, FIMV: 對LED施加一定的正向電流,同時采集電壓變化, 尖峰電壓與正常電壓的差值即為VFD;
武漢普賽斯一直專注于半導(dǎo)體,LED,激光器的光電性能測試儀表開發(fā),基于核心算法和系統(tǒng)繼承等技術(shù)平臺優(yōu)勢,率先自主研發(fā)了高精度數(shù)字源表、脈沖式源表、窄脈沖源表、集成插卡式源表,Mini LED源表測試系統(tǒng)等產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體,LED,激光器等產(chǎn)品的生產(chǎn)、研發(fā)、測試場景。可夠根據(jù)用戶的需求提供高性能,高效率,高性價比的半導(dǎo)體,LED,激光器測試系統(tǒng)級解決方案。miniled光電特性測試數(shù)字源表認準生產(chǎn)廠家武漢普賽斯儀表,詳詢一八一四零六六三四七六
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